1、二次电子分辨率：0.4nm @15kV；0.7nm @1kV；0.8nm @500V；1.2nm @200V；
2、大束流二次电子分辨率：1.9nm@15kV（工作距离10mm，束流6.5nA下）
3、大工作距离分辨率：工作距离WD=10mm时，1kV下分辨率1.0nm；
4、电子束流范围：最小束流1.0pA，最大束流50nA；
5、光阑：自加热式光阑，可保证清洁和无接触式光阑更换；
7、采用肖特基热场发射电子枪；

1、样品室：内宽340mm，分析工作距离10mm，端口12个；
2、样品台：五轴马达驱动，X移动范围110mm，Y移动范围110mm，Z移动范围65mm，T倾斜角度-15°～+90°，n*360°旋转；
3、配备电子束减速模式：样品台偏压范围-4000V至+600V；
4、配备极靴清理模块,用于清洗极靴内部的灰尘颗粒等污染物；

1、样品室二次电子探测器1个；
2、透镜内二次电子探测器1个；
3、透镜内高敏感背散射电子探测器1个，可在50V电压下采集背散射电子图像，适用于各类不导电和导电样品背散射电子图像观察；
4、镜筒内高分辨二次电子探测器1个，可探测样品电位衬度；
5、电子束束流计1个；
6、红外CCD相机1个；
7、宏观导航相机（安装在样品仓内）1个，视野160*105mm，3072*2048像素，具备自动图像采集、数字变焦、图像注释、图像保存功能；
8、独立探测器和相机的数量7个；

1、图像存储分辨率：60k ×60k像素（非叠加下）；
2、一键实现光路自动合轴、自动消像散及自动聚焦；
3、四活动窗口显示，可同时显示4幅不同探测器图像；

1、配置自动图像拍照和拼接软件，可实现不小于7×24小时无人值守自动拍照和图像拼接，可实时对已选定视场进行回溯；
2、电镜操作应具备取消重做功能，可返回任意一步操作；
3、具有样品台图像导航功能，双击鼠标移动样品功能，鼠标拖曳式放大及对中功能；
4、具有基础操作应用的向导，使用超链接操作电镜，实现新手快速入门；

1、探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器，60平方毫米有效面积；
2、能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV；
3、自动谱峰识别和用户辅助手动谱峰识别，动态无标准定量；
4、自动马达台控制能谱仪的伸缩，确保能谱仪能自动到达理想探测位置；

可对样品进行镀金，适用于场发射扫描电子显微镜观察

1、碳导电胶5卷，银胶1管，标准样品台100个；
2、UPS电源，10KVA，续航1小时；